La conception et le développement des dispositifs MEMS reposent sur trois piliers essentiels : la multiphysique, la microfabrication et l’intégration des systèmes. Une intégration harmonieuse et une communication efficace entre ces piliers sont indispensables pour optimiser le processus de conception et assurer la réussite du développement produit. Ces outils répondent non seulement aux exigences des marchés émergents, mais s’étendent également à des applications variées, notamment en optique et en photonique, en plus des solutions à base de silicium.

Dans ce webinaire, nous examinerons comment IntelliSuite facilite chacun de ces piliers et améliore les transitions entre eux, apportant une valeur significative au processus d’optimisation de la conception. Le logiciel permet aux utilisateurs de rationaliser et de simuler les procédés de fabrication avant leur mise en œuvre, garantissant ainsi des conceptions à la fois fabricables et performantes. En intégrant des modèles de fabrication aux simulations multiphysiques par éléments finis (FEM), IntelliSuite permet de créer des dispositifs optimisés à la fois pour la faisabilité des procédés et pour les performances obtenues. De plus, grâce à la simulation par modèles d’ordre réduit, IntelliSuite s’intègre parfaitement aux outils EDA pour circuits, permettant aux concepteurs de systèmes de développer avec précision des circuits de commande et de détection. Son architecture ouverte étend également son utilisation à la conception de capteurs et d’actionneurs non basés sur le silicium, tels que ceux utilisant le quartz, l’InP, le GaAs, l’AlGaAs, les métaux/alliages et le saphir. Il prend aussi en charge des simulations avancées de procédés, notamment la gravure par faisceau ionique incliné (IBE), la lithographie 3D, l’oxydation 3D et la gravure humide de substrats à indice élevé pour des matériaux comme le silicium et le quartz.

Joignez-vous à nous pour découvrir comment IntelliSuite comble le fossé entre la conception et la fabrication, stimulant l’innovation dans le développement des MEMS au‑delà des limites traditionnelles.