Le projet vise à tirer parti des technologies de fabrication émergentes pour concevoir des capteurs thermiques MEMS avancés permettant de mesurer la pression, le débit et les propriétés des gaz. Les capteurs répondront à la demande croissante du marché pour de meilleures performances, une fiabilité accrue et une réduction significative des coûts. Les principaux processus de fabrication incluent : la construction de micro-chauffeurs et d’éléments de détection hautement sensibles, à faible bruit et stables à partir de films métalliques minces à l’échelle nanométrique ; un processus de gravure novateur combinant la gravure sèche anisotrope et isotrope pour libérer des microstructures suspendues ; le collage de wafers à base de polymère pour assembler des micro-canaux de flux entre des wafers collés, suivi du moulage plastique assisté par film. Les capteurs seront validés dans des environnements opérationnels réels.