Un problème de longue date dans les semi-conducteurs et la microfabrication : l’enduction par centrifugation conventionnelle gaspille plus de 90 % de la résine photosensible utilisée lors du dépôt, une étape fondamentale dans presque tous les procédés de microfabrication. Cette inefficacité fait grimper les coûts de matériaux, augmente les déchets dangereux et limite la capacité à mettre à l’échelle les procédés de fabrication de pointe.

Nanogrande s’attaque à ce problème en développant l’ES-400, une plateforme de dépôt de résine photosensible et de couches minces fondée sur sa technologie brevetée Fluidbed. Contrairement à l’enduction par centrifugation, le procédé Fluidbed fait appel à une dynamique des fluides contrôlée et à des effets physicochimiques pour organiser la matière pendant le dépôt, ce qui permet d’obtenir des films très uniformes avec moins de 5 % de perte de matière. Le projet fera passer l’ES-400 du niveau de maturité technologique (NMT) 4-5 au NMT 7-8 grâce à l’intégration des systèmes, à l’optimisation des procédés et à la validation à l’échelle pilote.

Nanogrande supervisera la conception des systèmes, l’intégration du matériel, l’ingénierie des procédés, la gestion de la propriété intellectuelle et la préparation à la commercialisation. L’ÉTS, organisation co-responsable, contribuera à la caractérisation des matériaux, au développement de la métrologie, à l’étalonnage comparatif et à la formation de personnel hautement qualifié (PHQ). Le C2MI réalisera des travaux complémentaires de caractérisation et de métrologie axés sur les applications MEMS, tandis que le LaCIME soutiendra l’évaluation technique, les essais pilotes et les activités d’intégration des procédés pertinentes pour les environnements de semi-conducteurs et de matériaux de pointe.

Le projet aboutira à une plateforme de dépôt validée à l’échelle pilote, à trois formulations optimisées de résine photosensible, à une uniformité d’épaisseur démontrée et à une performance reproductible sur plusieurs plaquettes. L’ES-400 sera prêt pour un déploiement à l’échelle pilote et pour la commercialisation d’équipements, de consommables et de services techniques.