La fabrication à l’échelle du laboratoire des matrices de capteurs chimiques MEMS en silicium à haute densité de Noze Inc. a démontré un fort potentiel pour la surveillance de la santé par l’haleine. La prochaine étape consiste à mettre au point un procédé de fabrication contrôlé, reproductible et évolutif, adapté à la commercialisation et à un déploiement à plus grande échelle.

La plateforme en silicium de Noze, établie à Montréal, utilise une matrice de 64 éléments de détection fonctionnalisés indépendamment afin de détecter des traces de composés organiques et inorganiques volatils dans l’haleine. Elle a démontré une performance cliniquement pertinente dans des études de validation de principe. Une version du capteur a été approuvée par Santé Canada et est utilisée dans des essais cliniques.

Le projet porte sur deux étapes de fabrication. Premièrement, Noze collaborera avec l’Institut des communications graphiques (ICI) afin de mettre à l’échelle son procédé de synthèse pour un sous-ensemble sélectionné d’encres de détection à base de nanomatériaux, déposées sur des substrats de silicium pour former des couches minces actives. L’ICI en réalisera la caractérisation afin de vérifier les propriétés physicochimiques, la stabilité et les spécifications.

Deuxièmement, l’équipe perfectionnera la microdéposition de plusieurs matériaux de détection sur des dispositifs en silicium micro-usinés, en fixant les paramètres de volume des gouttelettes, de précision de positionnement et de séchage afin de favoriser la formation uniforme de couches minces. Des essais sur plusieurs séries évalueront la constance des matériaux, la reproductibilité des matrices et la performance d’un dispositif à l’autre, faisant passer la fabrication du NMT 5 au NMT 7 en vue d’une validation dans des environnements de fabrication pertinents.